TORAY東麗半導體行業專用多點氧氣濃度計

TORAY東麗半導體行業專用多點氧氣濃度計 MS-510
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產品詳情

TORAY東麗半導體行業專用多點氧氣濃度計 MS-510

多點氧濃度計MS-500/MS-510/SD傳感器系列是利用我們在半導體和電子行業積累的氧濃度計制造技術開發的，

可用于包括真空設備在內的各種設備。
配備了我們的緊湊型氧化鋯傳感器，可以長時間進行穩定和高精度的測量，并且還配備了氧傳感器保護機制，實現了超越傳統產品的耐用性。

另外，通過將氧氣傳感器和轉換器分離，最多可添加8個檢測器，可以同時測量。

操作簡單，是集成到各種處理設備中的最佳氧氣濃度計。

產品特點

使用一臺控制器最多可同時測量 8 點。

（可選添加轉換器/SD傳感器組）

非常適合安裝和集成到批量生產的機器中。

通過將傳輸輸出更改為 LAN 規格，可以從 LAN 連接器進行輸出。

這是一種無需采樣的直插式傳感器，即使在真空氣氛中也可以進行測量。

使用單獨的傳感器實現最短的響應。

傳感器采用特殊涂層，以實現高耐用性。

CE 標志...EN61010-1、EN61326-1
RoHS 指令...EN63000

模型	控制器：MS-500 轉換器：MS-510 傳感器：SD16NW/SD25NW/SD40NW
測量點數	最多8點（每個測量點需要一套檢測單元）
測量方法	氧化鋯氧濃差電池類型
測量范圍	0.001ppm～100%
安裝條件	安裝地點：室內、非防爆區域環境溫度：控制器/轉換器：0 至 40°C 　　　　　傳感器單元：0 至 50°C 環境濕度：35 至 80%RH（無結露）安裝溫度：控制器/轉換器傳感器單位：0 至 40℃ 　　　　　　傳感器單位：0 至 100℃ 不含易燃成分、鹵素、二氧化硅或腐蝕性成分

尺寸	92寬×44高×120深（毫米）
質量	約0.6公斤
安裝方法	使用 M3 螺釘進行面板安裝
電源	電源：DC24V，0.3A
濃度顯示	自動量程數字4位顯示（濃度顯示）自動量程切換顯示 0-1/10/100/1000ppm/1/10/100%
通訊輸出規格	通信方式：單向、RS-232C 兼容、D-sub 9 針（針接觸）傳輸速度：9,600/19,200/38,400 bps LAN 連接：選項
選項	LAN輸出（傳輸輸出）

尺寸	轉換器：100（寬）x 40（高）x 88（深）（單位：mm，不包括突出部分）傳感器：總長度 100（單位：mm）
質量	轉換器：約 0.5kg 傳感器：約 0.3kg
安裝方法	傳感器：用 M3 螺釘固定在平面上傳感器：ISO 真空法蘭連接
聯系	轉換器與傳感器之間的連接為專用線，標準長度為2m，最大長度為10m。
預熱時間	6分鐘內
電源	電源：DC24V、2A 功耗：60VA（標準：15VA）
重復性	0 至 1% 量程或更高：±0.5% FS 或更低 0 至 1% 量程或更低：±1.0% FS 或 ±0.1ppm，以較大者為準 * 不保證低于 0 至 1ppm 量程
空氣點穩定性	±1.0%FS以下/24小時
樣品條件	請勿在還原性氣氛中使用。另外，如果被測氣體的比熱較高，例如He濃度較高，則可能無法使用。溫度：0～100℃ 壓力：10 -3 Pa～200kPa（絕對壓力）濕度：露點低于環境溫度流量：0.5～5L/min或0L/min（自然擴散下測量）

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