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全新!!EBARA荏原 緊湊型干式真空泵

全新!!EBARA荏原 緊湊型干式真空泵 EV-X300N
池田屋實業優勢供應 ,并提供報價圖片

  • 更新時間:2025-03-21
  • 產品型號:EV-X300N
  • 廠商性質:經銷商
  • 訪  問  量:342
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聯系電話:0755-22220219

產品詳情

全新!!EBARA荏原 緊湊型干式真空泵  EV-X300N

全新!!EBARA荏原 緊湊型干式真空泵  EV-X300N


EV-X型

結構緊湊、節能,單個裝置可覆蓋多種工藝

適用于中等負荷工藝
高溫控制
節能
采用耐腐蝕材料作為標準
提高耐腐蝕性的選擇
不同頻率下性能相同(50Hz/60Hz)
無油
符合 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 要求
占地面積小

該款中負荷工序用干式真空泵搭載了荏原d特的節能技術,并采用了針對自動化工廠制造而優化的模塊化設計,實現了進一步的小型化和節能化。
寬范圍的溫度控制擴大了適用工藝。
由于同一型號可覆蓋多個工藝,因此可優化備用設備庫存,減少維護和培訓工作,并可靈活適應未來的工藝擴展。
此外,通過對各工序進行最佳溫度控制,可提高工序耐性,并可延長零件的更換周期,有助于降低TCoO。
支持的應用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等。


產品規格

型式EV-X100NEV-X200NEV-X300N
最大處理風量(L/min)10,00020,00030,000
到達壓力(Pa)0.50.50.5
電源規格3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)
到達底壓時消耗電力(kW)*0.911.5




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