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更新時間：2025-06-06產品型號：MS600A廠商性質：經銷商訪 問 量：143
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進口！！ULVAC愛發科 低能耗真空螺桿型干泵 MS600A
進口！！ULVAC愛發科 低能耗真空螺桿型干泵 MS600A
"Model:MS"是螺桿型干式真空泵。在傳統的"Model:LS"的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。
該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC獨T設計的轉子軸，實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排氣速度 *1 | 立方米/小時 | 115 | 560 | 980 |
| 到達壓力 | 出色地 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 200V級：三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或 400V級：三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 消費電力概略值 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| Purge gas量 *1 | 空間光調制器 | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣處理量 *1*3 | 公斤/小時 | 1.5 | ||
| 噪音值 *1 | 分貝(A) | 61 | 62 | 64 |
| 吸氣口 | KF50(臥式) / VG50(立式) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質量 *4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 適用規格 | CE、cTUVus | |||
| 標準附屬品 | 快速手冊、電源連接器、防水電纜夾、遠程連接器、電源連接器保護裝置、消音器 | |||
| 主機選項 | 電源：200V級或400V級 密封材質：FKM或FFKM | |||
| 外部選配件 | 包裝排氣口、防震支架、LR兼容單元（入口、遠程）、吹掃氣閥 | |||
：到達壓力時
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
*4：Including a silencer
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