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更新時間：2025-06-07產品型號：GR180A廠商性質：經銷商訪 問 量：255
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日本全新！！ULVAC愛發科大流量干式真空泵 GR180A
日本全新！！ULVAC愛發科大流量干式真空泵 GR180A
干泵"Model:GR"是以獲得良好業績和信賴的"Model:LR/HR"為基礎設計的，面向一般產業設計的簡單結構的泵。
特點
可應用于大氣真空間反復抽氣的高負荷領域，可在高負荷下持續使用。
適用load lock室（裝載/卸載室），可實現高吞吐量。
感應電機可通用
可以安裝防爆電機等特殊電機（可選）
采用多電壓兼容電機
用途
空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
各種成膜設備放入取出室的真空排氣
真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產業
真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充
規格
型號 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
最大排氣速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 183(3100) | |||
60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
極限壓力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | |||||||
最大排氣口壓力（排出圧力） | Pa | 1.0 ~ 大氣壓 | ||||||
吸氣口 | VG50 | VG80 | ||||||
排氣口 | NW40 | |||||||
DRP表面處理 | 〇 | |||||||
電機 | 輸出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
電壓 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
質量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
冷卻方式 | 冷卻水 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
冷卻水 | MPa | >0.1 | ||||||
冷卻水溫度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
氮氣 | 一次側 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
二次側 | MPa | 0.05 to 0.1 (運作時) | ||||||
軸 | SLM | 5.0 *4 | ||||||
*1 極限壓力是氮氣（軸封氣體）為5.0 SLM時的值。
*2 不結露。
*3 通過調節器調節壓力計值。
*4 氮氣（軸封氣體）的流量固定為5.0SLM。
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